程控勻膠機具有真空通道進膠安全保護功能

更新時間：2023-02-01 | 點擊率：1071

　　程控勻膠機具有速度精度高、轉速穩定、旋轉加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點。主要用于微電子、半導體、太陽能電池、新能源、生物材料、光學器件等領域的表面涂膜工藝，例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。

　　程控勻膠機的性能：

　　1.轉速可控范圍：100-12000RPM，轉速分辨率：1RPM

　　2.大單步步長3000S，旋轉時間分辨率0.1S

　　3.加速度可控范圍：100-30000RPM/S

　　4.可處理碎片(小于1cm)至6英寸(150mm)圓晶底物

　　5.4.3寸全彩觸摸屏，提供觸屏筆操作，中英文界面可選

　　6.可進行多步程序運行，多可存貯10組10步程序

　　7.HDPE高分子耐腐蝕、易清潔內腔，帶排廢功能

　　8.SUS耐腐蝕不銹鋼機身，耐溶劑性PC透明蓋子

　　9.帶一只自動點膠端口，可升級自動點膠功能

　　10.100W直流無刷電機，寬電壓適用：AC100-230V輸入

　　11.帶真空和蓋子開關互鎖功能，確保操作安全

　　12.標配三種規格鋁合金真空載物盤（直徑10mm、25mm、55mm）

　　13.防堵膠功能設計，真空通道進膠安全保護功能

　　14.外形尺寸：256(W)*358(D)*258(H)

　　程控勻膠機是高精密的旋轉涂膜儀。主要為高等院校、科研院所、研發中心等進行研究，開發各種功能薄膜所用。適用于半導體硅片、晶片、ITO導電玻璃、光學玻璃、生物薄膜、制版等工藝表面涂覆。